| 品牌：思美高SIMCO | 型号：5635 | 加工定制：不支持 |
| 是否进口：是 | 颜色：白色 | 工作距离：15--100com |
| 静电针材质：单晶硅 | 脉冲定频：1-33Hz，默认设定-5Hz，可调 | 臭氧产生：＜0.05ppm |
| 电离技术：调制脉冲 (MP) 技术 | 输出电压：13.5 kV pk pk (max)，可调 |
5635 Aerobar MP 离子发生器是一款***颗粒产品，专为需要 100 nm 或更小的精细颗粒控制的静电消除应用而开发，例如在***的半导体制造工艺中。
特征
■单晶硅电极在全球范围内拥有***
的应用记录，其***颗粒特性避免了电极材料造成的金属污染风险静电消除性能
■低电位摆幅特性，即使在高电压下也可使用距离为 100 mm，离子平衡在棒长度上几乎没有偏差 ■
智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡
■可通过 1/4 圈拆卸的更换 电极有助于减少维护
MP法的特点是电位摆幅非常小，简化了设置。小电位摆幅还可以有效地保持长期离子平衡在控制标准之内
。棒的长度是根据半导体的EFEM设置的前端流程
■紧凑型设计，内置 24V DC 驱动控制器
■全球范围内的***支持网络
优点
● 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术
● 精准的正负平衡，和长期稳定高离子输出量
● 整根棒的离子平衡都一致
● 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至15 cm
● 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力
● 在任何环境都能快速设定和容易调至效能
● 能输出至设备或远端监控系统
